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成像分析

中禹聯(lián)重檢測技術(shù)中心隸屬于上海禹重實(shí)業(yè)有限公司,作為面向21世紀專(zhuān)業(yè)的材料分析服務(wù)機構,為各行業(yè)及終端用戶(hù)提供高價(jià)值專(zhuān)業(yè)分析和測試咨詢(xún)服務(wù),以及第三方的產(chǎn)品驗證。在冶金、建筑、礦山、地質(zhì)、環(huán)境、機械、化工、電子電氣、石油、生物、制藥、醫療、紡織、食品和農業(yè)等眾多領(lǐng)域,我們與瑞士通標(SGS)、美國EAG、上海材料研究所測試中心和鋼研檢測中心等權威檢測單位開(kāi)展廣泛而持久的合作關(guān)系。

UZonglab是您在新產(chǎn)品新材料開(kāi)發(fā)、制程監控、品質(zhì)控制、失效分析中不可缺少的合作伙伴。禹重科技的材料分析專(zhuān)家具有廣泛的專(zhuān)業(yè)知識,讓客戶(hù)能夠充分理解現有分析技術(shù)的范圍,以及性能極限。您完全可以相信我們的技術(shù)并幫助您改善產(chǎn)品的性能、提升成品良率、縮短研發(fā)時(shí)間、降低生產(chǎn)成本、解決問(wèn)題達到預期的效果。

成像/投影
在其最簡(jiǎn)單的形式中,成像分析主要是利用顯微鏡方法來(lái)聚焦表面(包括光學(xué)和電子)。分析提供的信息會(huì )受到所使用的儀器能力的限制。在此分析類(lèi)型中主要采用的分析技術(shù)是掃描式電子顯微鏡(SEM)。

元素、無(wú)機物或者分子種類(lèi)的橫向分配(例如位置)可以使用以下方法來(lái)測量:

  • 電子束技術(shù):SEM,EDS和Auger
  • 離子束技術(shù):TOF-SIMS和FIB

這些方法提供了地圖或圖像來(lái)顯示不同種類(lèi)元素的相對位置,相關(guān)的功能,缺陷,顆粒等的有用信息。

也可以使用其他的技術(shù)來(lái)獲得圖像:

  • Raman測量分子振動(dòng),并且提供有關(guān)官能基、碳類(lèi)型和壓力/應力的信息。
  • AFM提供表面粗糙的圖像、硬度和磁性成像。
  • XPS提供元素和化學(xué)映像。
  • 光學(xué)輪廓測定可以產(chǎn)生表面的三維成像,三維測量或特定功能的成像。

在一個(gè)規模較大的晶圓映像到300mm,LEXES可以用于映射摻雜、薄膜成分和雜質(zhì);XRR/XRF可以用于映像膜的厚度和密度;TXRF可以用于映像元素污染物。

主要分析技術(shù)

  • Auger
  • EDS
  • FIB
  • LEXES
  • SEM
  • TOF-SIMS
  • XRF
  • XRR

其他分析技術(shù)

  • AFM
  • Raman
  • XPS
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